精密光学技术发展水平分析

中国市场研究网www.hjbaogao.com.cn2022-10-26 14:55:23
内容摘要:目前,光学加工工艺主要包括切割、铣磨、精磨、抛光、磨边、胶合、镀膜等工 艺环节。

目前,光学加工工艺主要包括切割、铣磨、精磨、抛光、磨边、胶合、镀膜等工 艺环节。

超精密加工技术是先进装备制造的关键性瓶颈技术,纳米精度被誉为超精密加工 技术“皇冠上的明珠”。超精密光学器件的制造体系,由超精密光学加工、超精密光 学检测和超精密光学表面处理等环节构成。超精密光学器件的制造技术可以分为触式 和非接触式两大类,在接触式制造技术中,最具代表性的方法是数控研磨抛光 (CCP),单点金刚石切削(SPDT)以及磁流变抛光(MRF)技术。在非接触制造中, 具有重要应用价值的方法包括磨料射流抛光(FJP)、等离子体成型(PACE)和离子 束抛光(IBF)等技术。目前我国已初步建立了包括CCP、MRF、IBF、SPDT 等技术 在内的超精密光学制造技术体系。

超精密光学器件制造涉及的重要技术之一就是表面镀膜技术,通过镀膜以提高透 反射、偏振及强激光耐受等能力。为此,需要积极发展新型的等离子体镀膜技术、离 子束镀膜技术、激光束镀膜技术和平片的化学气相沉积技术,并积极研究新的薄膜材 料与结构体系以及新的薄膜器件设计与检测技术。这些技术的发展对于提高和保障超 精密光学器件的实际应用水平至关重要。

此外,随着制造能力的不断提升,超精密光学器件的检测技术问题已经逐渐成为 限制制造技术发展的瓶颈。目前,超精密光学器件的检测主要指面型检测和粗糙度检 测两个方面。面型检测主要使用轮廓仪和干涉仪,高精度轮廓检测和干涉检测设备几 乎全部依赖进口,因而迫切需要通过自主研发或者技术引进等方式降低依赖性。

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关键字:精密光学

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