2020-2026年中国三氟化氮行业产业市场动态聚焦与投资可行性研究报告

报告编号:541432中国市场研究网www.hjbaogao.com.cn2020-04-22 11:45:21
2020-2026年中国三氟化氮行业产业市场动态聚焦与投资可行性研究报告
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三氟化氮(NF3)作为含氟特种气体的一类,常温下具有化学惰性,高温下则比氧气更活泼、比氟更稳定,且易于处理。

一般来说,三氟化氮主要用作等离子蚀刻气体和反应腔清洗剂,适用于半导体芯片、平板显示器、光纤、光伏电池等制造领域。和其他含氟电子气体相比,三氟化氮具有反应快、效率高的优点,尤其在对氮化硅等含硅材质的蚀刻中,具有较高的蚀刻速率和选择性,而且对表面无污染,能够满足加工过程需求。

此外,三氟化氮可用作制备WF6的氟化剂,同时也可在火箭发射中作为氧化剂和推进剂使用。据统计,三氟化氮作为刻蚀剂和清洗剂的占比应用超过70%,而氟化剂、氧化剂、助燃剂的应用占比不足30%。

目前三氟化氮已成为大规模集成电路、平板显示、薄膜太阳能生产制造过程中必不可少的材料。2018年全球三氟化氮市场用量达到2.83万吨,预计到2021年全球三氟化氮市场需求量在4万吨左右。

三氟化氮研究报告,对三氟化氮进行了详细的三氟化氮分析研究,内容包括行业国内市场分析,国外市场分析,市场供需分析、竞争对手分析,行业前景分析,市场风险分析。最后三氟化氮研究报告对三氟化氮行业前景做出了研究预测。

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